ガラス基板用多段式ベーキング装置のご紹介
 
洗浄機からコーター機の脱水処理(脱水ベーク機)、コーター機から露光機の間のプリベーク(ソフトベーク機)を行うガラス基板乾燥装置です。


特  徴
ホットプレート方式を採用。安定した温度分布が得られます。
搬送ロボットによる柔軟なハンドリングが可能です。
各種バッファリング機構により、前後行程にあわせることが可能です。
多段プレート式により、メンテナンスが容易に行えます。
ホットプレートは最高6基、クーリングプレートは2基まで増設できます。


仕  様
対象ワーク 440×550×0.7mm(その他サイズにも対応できます。)
所要電力 30KW(AC200V3相50/60HZ)
エアー消費量 300Ng/分(5kg/cuG)
温度範囲 常温〜150℃
温度分布 プラスマイナス3℃(ワーク表面温度 at100℃)
プラスマイナス1℃(ワーク表面温度 at23℃)
機械寸法 L3100×W3200×H2300mm


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