ガラス基板用多段式ベーキング装置のご紹介 |
洗浄機からコーター機の脱水処理(脱水ベーク機)、コーター機から露光機の間のプリベーク(ソフトベーク機)を行うガラス基板乾燥装置です。 |
特 徴 | |
● | ホットプレート方式を採用。安定した温度分布が得られます。 |
● | 搬送ロボットによる柔軟なハンドリングが可能です。 |
● | 各種バッファリング機構により、前後行程にあわせることが可能です。 |
● | 多段プレート式により、メンテナンスが容易に行えます。 |
● | ホットプレートは最高6基、クーリングプレートは2基まで増設できます。 |
仕 様 | ||
● | 対象ワーク | 440×550×0.7mm(その他サイズにも対応できます。) |
● | 所要電力 | 30KW(AC200V3相50/60HZ) |
● | エアー消費量 | 300Ng/分(5kg/cuG) |
● | 温度範囲 | 常温〜150℃ |
● | 温度分布 | プラスマイナス3℃(ワーク表面温度 at100℃) プラスマイナス1℃(ワーク表面温度 at23℃) |
● | 機械寸法 | L3100×W3200×H2300mm |
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